Установка магнетронного распыления (УМР) предназначена для формирования пленок на подложках. Эта методика нанесения позволяет создавать покрытия толщиной менее 4 мкм. Готовое покрытие получается равномерным.
Особенности метода
Пленка образуется на поверхности мишени за счет диодного газового разряда. Он возникает в скрещенных электрических и магнитных полях. При реактивном покрытии скорость роста пленок определяется парциальным давлением реактивного газа. Агрегаты с магнетронами относятся к низковольтным распылительным системам. Работать они могут при давлении от 10-2 Па и ниже.
Характер разрядов зависит от геометрии электродов и показателей магнитного поля. В технологии отсутствует эффект бомбардировки подложки вторичными электронами, которые являются источниками радиационных дефектов. Они захватываются магнитной ловушкой и не контактируют с подложкой. Это обеспечивает относительно низкую температуру мишени.
Преимущества использования установки магнетронного напыления
Эта технология применяется при производстве полупроводниковых приборов, тонкопленочных схем, акустоэлектроники. Ее также используют для металлизации пластмассовых, стеклянных изделий, тонирования стёкол для окон и автотранспорта.
Магнетронные системы позволяют получить покрытия из любых металлов, полупроводников и их сплавов. На состав пленок влияет соотношение долей кислорода, углерода, азота, сернистых газообразных соединений в рабочей атмосфере. Они могут быть одно-, двух- или многослойными. Достоинства этого вида напыления:
- высокая скорость осаждения;
- хорошая адгезия материалов;
- контроль параметров получаемых покрытий;
- низкая степень загрязнения пленок.
При работе устройств не возникает радиационных эффектов, т.к. электроны полностью захватываются магнитным полем. Объекты не перегреваются, сохраняют свои первоначальные свойства.
В компании Sernia можно купить установку магнетронного распыления для решения стандартных и специфических задач. Цена агрегата формируется размерами рабочей камеры, параметрами магнетронов, особенностями подложкодержателя и откачными средствами. УМР могут функционировать как самостоятельные единицы или объединяться в системы кластеров. Перед покупкой агрегата вы можете проконсультироваться с нашими инженерами.