Системы с фокусированным ионным пучком (ФИП/FIB) по своему принципу работы напоминают сканирующий электронный микроскоп, с той разницей, что в ФИП-системах в качестве зонда используется сильно сфокусированный пучок ионов. ФИП позволяет модифицировать поверхность образца, получать поперечное сечение образца, подготавливать образцы для исследований в ПЭМ.
Данный метод в настоящее время привлекает к себе большое внимание. Особенно его хорошо использовать для образцов, содержащих границы между различными материалами, в которых может быть затруднено равномерное утончение области границы раздела с помощью других методов.
В данном разделе представлены передовые модели ФИП производства компании FEI с различными источниками ионов: модель V 400 имеет источник ионов Ga, Vion Plasma FIB — плазменный источник ионов.
Данный метод в настоящее время привлекает к себе большое внимание. Особенно его хорошо использовать для образцов, содержащих границы между различными материалами, в которых может быть затруднено равномерное утончение области границы раздела с помощью других методов.
В данном разделе представлены передовые модели ФИП производства компании FEI с различными источниками ионов: модель V 400 имеет источник ионов Ga, Vion Plasma FIB — плазменный источник ионов.