Picosun - производитель установок атомно-слоевого осаждения
Компания Picosun разрабатывает и производит промышленные и лабораторные установки для нанесения тонких пленок. Оборудование Picosun обеспечивает высочайшее качество процессов, удовлетворяя самым жестким требованиям по производительности и надежности. Для научно-исследовательских организаций оборудование Picosun предлагает многофункциональные, модульные установки, масштабируемые до нужд производства. Надежные, эффективные, компактные и простые в использовании инструменты PICOSUN™ для проведения АСО были выбраны для ежедневной работы во всех типах приложений микро- и нанотехнологий ведущими промышленными предприятиями и научно-исследовательскими организациями во всём мире.
Атомно-слоевое осаждение (АСО) Picosun
Атомно-слоевое осаждение, АСО (аtomic layer deposition) — химический метод нанесения сверхтонких плёнок из газовой фазы.Рост плёнок осуществляется за счёт последовательного нанесения атомных слоев, обеспечивая точный контроль толщины плёнки и её химического состава. На сегодняшний день технология АСО является наиболее перспективной, так как спомощью данного метода возможно нанесение сверхтонких покрытий практически на любые типы поверхностей. Компания Picosun предлагает промышленные и лабораторные установки для нанесения тонких плёнок. Оборудование обеспечивает высочайшее качество процессов, удовлетворяя самым жёстким требованиям по производительности и надёжности.R-серия Picosun — оборудование для исследований и разработок
Оборудование R-серии Picosun имеет ручную или полуавтоматическую обработку.Нанесенные плёнки обладают однородностью даже на поверхностях со сверхсложными структурами. Позволяют производить напыление плёнок АСО высочайшего качества даже на поверхности сложнейших структур с порами и сверхвысоким аспектным соотношением, а также на наночастицы.Легко заменяемые прекурсоры для жидкостных, газообразных, и твёрдых реагентов позволяют производить напыление плёнок без примесных частиц на различные материалы подложек. Используются подложки размером до 200 мм для одиночной обработки и 150 мм для пакетной обработки. Имеется возможность масштабировать до промышленного производства на Picosun P-серии.
P-серия Picosun — оборудование для крупносерийного производства
Оборудование P-серии отличается полностью автоматизированной обработкой одиночных пластин или пакетов пластин для крупносерийных производств.Р-серия является полностью автоматизированным вакуумным кластером, совместимым с производственными линиями, и гарантирует максимальную рентабельную производительность. Нанесённые пленки отличаются высочайшей однородностью, отсутствием примесных частиц, удовлетворяя самым строгим требованиям качества, выдвигаемых современной полупроводниковой промышленностью.
Для напыления используются подложки размером до 300 мм (вскоре до 450 мм) и большие 3 D-объекты. Производительность может быть увеличена до 1000 подложек/час, используя несколько реакторов P-серии, объединённых в кластер с промышленным манипулятором.