Соединяя
науку и технологии office@sernia.ru
+7 (495) 204-13-17
8 (800) 301-13-17

Требуется травление и осаждение диэлектриков с использованием небезопасных химикатов? Minilock-Phantom III отвечает всем нормам безопасности

Система плазмохимического травления Minilock-Phantom III Trion предназначена для сложных химических процессов, включая травление материалов с использованием агрессивных веществ.

Особенностью данной системы является наличие вакуумного шлюза. Вакуумный шлюз обеспечивает безопасность при работе с химикатами. Помимо этого, он предотвращает разгерметизацию камеры и значительно сокращает рабочие процессы. Разработанная система отвечает всем международным нормам безопасности.

Особенности и преимущества Minilock-Phantom III Trion:

  • травление опасными, токсичными и самовоспламеняющимися газами (Cl2, BCl3, SiCl4, HBr)
  • ICP реактор высокой мощности
  • автоматическая продувка системы
  • простота управления системой
  • вакуумный шлюз для предотвращения разгерметизации камеры
  • безопасность при работе с агрессивными химикатами
  • аналог Bosch процесса глубокого травления
Смотреть подробную информацию о Minilock-Phantom III Trion>>