V400 FIB FEI (Thermo Fisher Scientific) - ионный микроскоп

V400ACE - микроскоп с фокусированным ионным пучком 

V400ACE™ разработан специально для модификации схем и анализа отказов. Ионная колонна Tomahawk обеспечивает высокопроизводительную и точную обработку образца, а также обеспечивает изображения в высоком разрешении.

Система фокусированного пучка ионов V400ACE объединяет в себе последние разработки в проектировании ионной колонны, подачи газа и обнаружения конечной точки для обеспечения быстрого, эффективного, экономичного редактирования передовых интегральных схем. Редактирование схем позволяет производителям продуктов развести проводящие цепи и протестировать измененные схемы в течение считанных часов, а не недель или месяцев, которые потребуются для создания новых масок и обработки новых пластин.

Прибор оборудован высокоточным пятикоординатным 4-дюймовым столиком. Уникальная система доставки газов nanoChemix™ максимально эффективно доставляет и хранит до пяти реагентов. Революционный детектор ICE позволяет регистрировать вторичные электроны и ионы, дополняя классический сцинтиляционный детектор конвертером ионов и фронт-энд предусилителем. V400ACE может быть оборудован для обработки обратной стороны подложки, с дополнительным ИК микроскопом и комплектом для создания канавок в кремнии.

Микроскоп V400ACE специально разработан для решения проблем передовых проектов и процессов: меньшие размеры, более высокая плотность микросхем, необычные материалы и сложные соединения структур. V400ACE может быть настроен на редактирование с обратной стороны с помощью дополнительного инфракрасного микроскопа и комплекта для создания канавок в подложке из цельного кремния.

Ключевые преимущества

• Быстрая и точная модификация схем позволяет проектировать изменения в течение нескольких часов без обработки нового кремния;
• Система подачи газа NanoChemix обеспечивает повышенную скорость, гибкость, однородность и качество удаления материала и его осаждения;
• Ионная колонна Tomahawk обеспечивает больший ток на меньшую площадь поверхность для более быстрого и точного травления;
• Одновременное детектирование вторичных электронов и тока через образец улучшает обнаружение конечной точки;
• Быстрое и точное кросс-секционирование обнаруживает дефекты и особенности, находящиеся под поверхностью образца;
• Лучшая в своем классе система подготовки тонких образцов для 3D исследования и анализа

Ионная колонна Tomahawk

Tomahawk обеспечивает непревзойденные универсальные возможности при бесперебойной работе от 30 кВ до 2 кВ. Высокая плотность тока при травлении 30 кВ обеспечивает быстрое удаление материала и увеличение пропускной способности, в то время как работа при низком напряжении используется для селективного травления меди.

Система газоподачи NanoChemix

Инструменты для редактирования схем с помощью сфокусированного ионного пучка используют управляемую подачу контролируемого количества специальных газов, которые вводятся вблизи пучка и поверхности образца для повышения скорости и селективности процесса травления и передачи проводящих и изолирующих материалов в точно контролируемые области поверхности образца. Инновационная система поставки газа увеличивает гибкость редактирования с регулировкой давления и использованием широкого спектра твердых, жидких или газообразных материалов-прекурсоров.

Детекторование по конечной точке

Синхронное и автоматически масшабируемое снятие сигналов вторичных электронов и тока через образец обеспечивает надежное и точное определение «конечной точки», когда процедура травления достигает своей цели.

Технические характеристики

• Ионная оптика: Ионная колонна Tomahawk. 
• Источник ионов на базе жидкого галлия для применения в высоком вакууме.
• Разрешение: 4,5 нм
• Ускоряющее напряжение: от 0,5 кВ до 30 кВ
• Ток зонда: от 0,6 пА до 65 нA

Столик

• Тип: Эвцентрический столик с пьезоприводом, моторизованный по 5 осям
• Перемещение по осям X и Y: х 100 мм
• Наклон: -10° …+60°
• Поворот: n x 360°