ESPOO, Финляндия, 2 Декабря 2020 г. – Picosun Group, ведущий поставщик решений для тонкопленочных покрытий AGILE ALD® (атомно-слоевое осаждение) для мировой промышленности, запустила Sprinter, новый, полностью автоматизированный высокопроизводительный ALD-модуль для 300 мм пластин. Благодаря идеальному ALD-процессу, барьерные, с большой диэлектрической проницаемостью и другие типы пленок легко осаждаются в Sprinter на полупроводники (например, новые типы памяти, транзисторы, конденсаторы), дисплеи и компоненты Интернета вещей (IoT).
PICOSUN Sprinter – АСО-установка для крупносерийных производств
Новый ALD-модуль Sprinter от компании PICOSUN - полностью автоматизированная, высокопроизводительная установка атомно-слоевого осаждения (АСО/ALD) на подложках до 300 мм для крупносерийного промышленного производства. В установке ALD Sprinter качество и однородность пленки улучшены до быстрой пакетной обработки с высочайшей надежностью и воспроизводимостью.
По сравнению с реакторами с вертикальной печью, обычно используемыми для периодического ALD-осаждения, Sprinter обеспечивает более высокое качество пленки с более низкими теплозатратами, поэтому он также подходит для термочувствительных устройств.
Установка ALD Sprinter сочетает очень быстрое время процесса с меньшими размерами партии, чем в вертикальных печах, что обеспечивает большую гибкость производства и минимизирует риски без ущерба для производительности.
Ядром установки ALD Sprinter является его революционно спроектированная камера реактора, в которой полностью ламинарные потоки прекурсора обеспечивают идеальное ALD-осаждение без паразитного роста CVD-пленки. Это сводит к минимуму необходимость в обслуживании системы.
Технические характеристики АСО-установки Sprinter PICOSUN >>>
Полностью автоматизированный процесс атомно-слоевого осаждения
«Вместе со Sprinter мы запускаем также нашу операционную систему PicoOS ™. Собственная операционная система и программное обеспечение для управления процессами, разработанное нашей собственной командой разработчиков программного обеспечения, подразумевает высочайшую прецизионность и точность управления, кратчайшее время обслуживания, а также высочайшую надежность и качество для наших клиентов», - говорит г-н Юсси Раути, генеральный директор Picosun Group.
Полнофункциональное программное обеспечение PicoOS ™ позволяет осуществлять контроль, эксплуатацию и настройку оборудования PICOSUN® ALD - как автономных систем, так и полных производственных кластеров - через единый, интуитивно понятный и удобный графический интерфейс HMI и обеспечивает надежное соединение между системой и производственной автоматикой заказчика через Протокол SECS / GEM.
Применение Sprinter PICOSUN на производстве
«PICOSUN® Sprinter напрямую решает задачи крупносерийного ALD-производства на 300 мм пластинах. Мы рады представить этот продукт нашим новым и существующим клиентам на рынке 300 мм полупроводников и предложить им поистине революционную современную альтернативу старым технологиям серийного ALD-производства», - продолжает г-н Раути.
Сертифицированный модуль PICOSUN® Sprinter SEMI S2 / S8 может быть интегрирован в производственную линию или кластер клиента. Он также подходит для линий по производству отдельных пластин, так как не нарушает технологический процесс. Sprinter работает с новой собственной операционной системой Picosun PicoOS ™ и программным обеспечением для управления процессами.
О компании Picosun
Picosun предлагает самые передовые решения для тонкопленочных покрытий AGILE ALD® (атомно-слоевое осаждение) для мировой промышленности. Решения Picosun для ALD позволяют совершить технологический скачок в будущее благодаря производственным процессам «под ключ» и непревзойденному новаторскому опыту в этой области, начиная с изобретения самой технологии. Сегодня оборудование PICOSUN® ALD ежедневно используется в производстве во многих ведущих отраслях промышленности по всему миру.
Продажи и демо-показы Sprinter PICOSUN
Установка атомно-слоевого осаждения Sprinter уже доступна для демонстрации на предприятии Picosun. Продажи модулей Sprinter начались в январе 2021 года, а полный кластер Sprinter с несколькими ALD-модулями, центральным блоком обработки вакуумных пластин и EFEM будет доступен к заказу весной 2021 года.
Смотреть технические характеристики Sprinter PICOSUN в каталоге товаров >>>
Каталог продукции компании Picosun >>>
Заинтересовало оборудование для атомно-слоевого осаждения? Обращайтесь к нашим специалистам! Мы подберем оборудование под Ваши цели и задачи и сориентируем Вас по ценам на продукцию. Присылайте Ваши вопросы и заявки на эл.почту info@sernia.ru, тел. +7 495 204 13 17.