пн-пт  10:00 - 19:00

Установка ALD P-300BV Picosun для производства LED, МЭМС-устройств

Установка ALD P-300BV Picosun  - разработка для производства светодиодов, дискретных устройств и различных устройств MEMS, например печатающих головок, датчиков и микрофонов.


Все характеристики
Производитель: Picosun Flag
Цена по запросу
Отправить запрос на КП
Задать вопрос
Доставка
Бесплатная доставка по Москве
Подробнее
Установка ALD P-300BV Picosun  - разработка для производства светодиодов, дискретных устройств и различных устройств MEMS, например печатающих головок, датчиков и микрофонов.
Описание
Характеристики
Документы
Оплата и доставка
Описание

Установки атомно-слоевого осаждения Picosun

Установка P-300BV Picosun - это установка атомно-слоевого осаждения для применения в промышленности.

ALD, atomic layer deposition (атомно-слоевое осаждение, АСО) — это химический метод нанесения сверхтонких плёнок из газовой фазы. Рост плёнок осуществляется за счет последовательного нанесения атомных слоев, обеспечивая точный контроль толщины плёнки и ее химический состав.

На сегодняшний день технология ALD (АСО) является наиболее перспективной, так как позволяет наносить сверхтонкие покрытия практически на любые типы поверхностей.

Основные сведения об установке ALD PICOSUN P-300BV

Установка ALD PICOSUN P-300BV представляет собой ультрасовременное промышленное оборудование для производства светодиодов, дискретных устройств и устройств MEMS, таких как печатающие головки, датчики и микрофоны.

Система предназначена для полуавтоматической обработки партий изделий. Инструмент оптимизирован для быстрого серийного производства и может быть интегрирован в автоматизацию производства с помощью опции SECS / GEM.

Вакуумная система загрузки с опцией нагрева позволяет работать с чувствительными субстратами и осаждать такие материалы, как нитриды металлов.

PICOSUN P-300BV является одной из лучших систем ALD для инновационных отраслей промышленности.

Технические особенности установки ALD P-300BV Picosun

Типичный размер и тип подложки

- Пластины 200/150/100 мм в кассетах по 25/50/75 шт.;
- Подложки, отличные от пластин;
- Образцы с большим аспектным отношением. 

 
Температура
 

50 – 450 °C

 
Стандартные процессы

- Al2O3, SiO2, Ta2O5, HfO2, ZnO, TiO2, ZrO2, AlN, TiN и металлы;
- Серийное производство доступно с периодом цикла до однозначных секунд;
- До <1% 1σ неравномерность в партии (Al2O3, WIW, WTW, B2B, 49 точек, 5мм EE).

Загрузка субстрата

- Полуавтоматическая загрузка с вертикальными погрузчиками (один или два погрузчика);
- Дополнительный обогрев при загрузке образца.

 
Прекурсоры

- Жидкостные, твердые вещества, газ, озон;
- До 8 источников с 4 отдельными вводами;
- Датчики уровня, очистка и пополнение.



Характеристики
Размер и тип подложки: Пластины 200/150/100 мм в кассетах по 25/50/75 шт.; Подложки, отличные от пластин; Образцы с большим аспектным отношением.
Температура обработки: 50 – 450°C
Технологические процессы: Al2O3, SiO2, Ta2O5, HfO2, ZnO, TiO2, ZrO2, AlN, TiN и металлы
Загрузка подложки: Полуавтоматическая загрузка с помощью вертикальных загрузчиков (один или два) Дополнительный обогрев загрузочного шлюза
Прекурсоры: Жидкостные, твердые вещества, газ, озон; До 8 источников с 4 отдельными вводами
Документы
Оплата и доставка

Заказ товаров

Сделать заказ товара можно несколькими способами:

  • Отправьте запрос на сайте через кнопку «ОТПРАВИТЬ ЗАПРОС НА КП» или «ЗАДАТЬ ВОПРОС»;
  • Отправьте запрос на e-mail: info@sernia.ru с указанием конкретного товара или технических характеристик возможного прибора;
  • Позвоните по телефону +7 (495) 204-13-17 или 8 (800) 301-13-17 (бесплатный для регионов). Секретарь соединит Вас с менеджером, который поможет сделать заказ.

Оплата товара

Оплата товара производится только по безналичному расчету. Цены в счете указываются с НДС. Условия оплаты: 100% предоплата или 50/50% (предварительно обговариваются с клиентом, зависят от условий поставки товаров).

Доставка товара

Сроки поставки товара обговариваются на этапе заказа товара. Доставка мелкогабаритного товара в пределах Москвы осуществляется собственной курьерской службой. Сроки доставки товаров из наличия - 2-3 дня после оплаты товара.

Доставка товара в регионы осуществляется службой MAJOR EXRESS. Отследить доставку товара можно по номеру накладной на сайте компании.