Соединяя
науку и технологии office@sernia.ru
+7 (495) 204-13-17
8 (800) 301-13-17

V400 FIB FEI

V400 FIB FEI
Цена: По запросу
Производитель: FEI Flag
V 400 FIB FEI — система с фокусированным ионным пучком (ФИП)
  • Описание
  • Документация
Высокопроизводительная, высокоскоростная, высокопрецизионная система для анализа, обработки и визуализации поверхности образцов с возможностью модификации и нанофабрикации микроэлектронных компонентов как на поверхности образца, так и с обратной стороны, возможность быстрого анализа дефектов и отказов.

Основные преимущества:
  • высокопроизводительный генератор образа для ионно-лучевой литографии;
  • высокопрецизионный 5-ти осевой столик с пьезо- приводом;
  • инновационная ионная колонна Tomohavk с разрешением 4,5 нм;
  • уникальный ICE детектор вторичных ионов и электронов;
  • система подачи процессных газов для системы газовой инжекции;
  • быстрое, точное получение срезов позволяет обнаруживать дефекты и подповерхностную структуру;
  • быстрая пробоподготовка и 3-D реконструкция.