Серия модульных конфигурируемых 100/150/200/300-миллиметровых полуавтоматических зондовых станций.
Основные сведения о зондовых станциях PS4L серии SA-4/6/8/12 SEMIPROBE
Серия SemiProbe SA-4/6/8/12 - это модульные и конфигурируемые 100/150/200/300-миллиметровые полуавтоматические зондовые станции, разработанные на базе архитектуры «Probe System for Life» (PS4L). Все полуавтоматические системы SemiProbe работают под управлением мощного программного комплекса PILOT. Данная серия зондовых станций разработана для определения параметров объектов, МЭМС, оптоэлектроники, ВЧ и СВЧ устройств, силовой электроники, солнечных батарей, анализа отказов, научных исследований, материаловедения и др.
Программное обеспечение
PILOT – модульное, интуитивно понятное и простое в освоении ПО. Дополнительные управляющие модули при расширении функций и состава оборудования, могут быть реализованы без внесения изменений в ядро программы. Общие функции, такие как, выравнивание по двум точкам, выполняются пошагово с помощью программного мастера - для того, чтобы сделать возможной работу даже для необученного пользователя. Для неопытных операторов или в случае установки образцов, имеется возможность управления перемещением с помощью джойстика.
Интеграция с контрольно-измерительными приборами
Это мощное ПО на основе библиотек DLL позволяет пользователям быстро и легко устанавливать связь с зондовой станцией и контрольно-измерительными приборами. Для LabView, C ++ и Visual Basic доступны полные библиотеки драйверов, со специализированными драйверами для поддержки самых современных инструментов, таких как, например, параметрический анализатор Keithley 4200A-SCS. Связь ПО и оборудования осуществляется по протоколам RS-232, GPIB или TCP/IP, что позволяет зондовой станции выступать в качестве основного или ведомого устройства в случае интеграции с другими системами.
Аксессуары
Для PS4L доступна полная линейка аксессуаров, в том числе держатели зондовых сборок, манипуляторы, кронштейны и держатели зондов, наконечники зондов, тепловые держатели, климатические камеры, лазеры, оптические системы, системы видеонаблюдения, устройства подачи образцов (механизмы автоматической загрузки), антивибрационные столы, светонепроницаемые боксы и многое другое.
Преимущества зондовых станций PS4L серии SA-4/6/8/12 SEMIPROBE
- Полуавтоматические системы для исследования 100/150/200/300 мм пластин с возможностью апгрейда до более продвинутых версий: для работы с большими размерами пластин или с автоматическим функционалом.
- Все основные компоненты системы – взаимозаменяемые, для упрощения конфигурирования системы в условиях новых задач или возможностях бюджета
- Программные и аппаратные модули разработаны таким образом, чтобы всегда была возможность их модернизации на месте размещения
Технические характеристики зондовых станций PS4L серии SA-4/6/8/12 SEMIPROBE
|
Размеры |
Модели SA-4/6/8: 900 мм x 650 мм x 750 мм (Ш,В,Д) – с установленной оптикой; модель SA-12: 1200 мм x 650 мм x 900 мм (Ш,В,Д) – с установленной оптикой |
|
Вес |
80 кг/85 кг/90 кг/136 кг |
|
Перемещение столика по осям X-Y |
Ход: 105 мм x 105 мм /155 мм x 155 мм/205 мм х 205 мм/305 мм х 305 мм |
|
|
Скорость: 50 мм/сек (максимум) |
|
|
Разрешение: 0.1 мкм |
|
|
Повторяемость: +/- 0.5 мкм |
|
|
Точность: +/- 3 мкм |
|
|
Планарность: +/- 6 мкм за один полный ход |
|
|
Шаговый двигатель Nema 17 |
|
|
Оптический линейный преобразователь |
|
Перемещение столика по оси Z |
Ход по Z: 15 мм |
|
|
Разрешение: 0.5 мкм |
|
|
Повторяемость: +/-1.5 мкм |
|
Вращение столика |
Ход: +/-4 градусов (определяется пользователем) |
|
|
Разрешение: 0.29 угловой секунды (0.00001 градуса) |
|
Держатели образцов |
Вакуумная или механическая фиксация образца, круглый или квадратный, ВЧ, для высоких напряжений/токов, для текущей температуры, с нагревом и заданной пользователем температуры |
|
|
Для кристаллов, сборок пластин, частей пластин на рамках, расколотых и полных пластин до 100/150/200/300 мм |
|
|
Сталь с никелевым покрытием и концентрическими вакуумными кольцами (стандартно), доступны другие материалы покрытия |
|
|
Планарность: модели SA-4/6/8 5 мкм; модель SA-12 +/10 мкм |
|
Основание для размещения зондов |
Алюминиевое, верхняя часть из нержавеющей стали, извлекаемое, с клиновым фиксатором |
|
|
Поворот манипуляторов на 360 градусов |
|
|
Фиксация манипуляторов – магнитная (стандартно), вакуумная (опция с комплектом вакуумных магистралей) |
|
Перемещение основания для зондов |
Подъем основания: фиксированный или настраиваемый (линейно) |
|
|
Настройка: грубо 40 мм, плавно 200 мкм - шаг перемещения при приближении/удалении – с блокировкой |
|
Крепление/перемещение микроскопа |
Крепление – на штанге, на стойке или мостовое |
|
|
Перемещение – ручное или программируемое – 50 x 50 мм, 50 x 75 мм, 100 x 100 мм или 200 x 200 мм |
|
Оптика |
Микроскопы компаний Stereo Zoom, Zoom Tube, A-Zoom или совместимые |
|
Инженерное обеспечение |
Питание: 110/220В 50-60 Гц 20A |
|
|
Вакуум: 23 дм. рт. ст. или -0.8 бар |
Размеры зондовых станций PS4L серии SA-4/6/8/12 SEMIPROBE
| Диаметр позиционируемого образца (мм): | от 100 мм до 300 мм |
| Тип механизма: | полуавтомат |
| Размеры станции (мм): | 900*650*750 |
| Вес (кг): | 80-136 |
Заказ товаров
Сделать заказ товара можно несколькими способами:
- Отправьте запрос на сайте через кнопку «ОТПРАВИТЬ ЗАПРОС НА КП» или «ЗАДАТЬ ВОПРОС»;
- Отправьте запрос на e-mail: info@sernia.ru с указанием конкретного товара или технических характеристик возможного прибора;
- Позвоните по телефону +7 (495) 204-13-17 или 8 (800) 301-13-17 (бесплатный для регионов). Секретарь соединит Вас с менеджером, который поможет сделать заказ.
Оплата товара
Оплата товара производится только по безналичному расчету. Цены в счете указываются с НДС. Условия оплаты: 100% предоплата или 50/50% (предварительно обговариваются с клиентом, зависят от условий поставки товаров).
Доставка товара
Сроки поставки товара обговариваются на этапе заказа товара. Доставка мелкогабаритного товара в пределах Москвы осуществляется собственной курьерской службой. Сроки доставки товаров из наличия - 2-3 дня после оплаты товара.
Доставка товара в регионы осуществляется службой MAJOR EXRESS. Отследить доставку товара можно по номеру накладной на сайте компании.
