Соединяя науку и технологии office@sernia.ru
пн-пт 10:00 – 19:00
сб-вс выходные
+7 (495) 204-13-17
8 (800) 301-13-17

ALD установка P-300 F Picosun для производства ИС

ALD установка P-300 F Picosun для производства ИС
Цена: По запросу
Производитель: Picosun Flag
P-300 F — атомно-слоевое осаждение для производства ИС
Скачать документацию Задать вопрос
  • Описание
  • Документация

Установка атомно-слоевого осаждения PICOSUN™ P-300F ALD для изготовления ИС

Атомно-слоевое осаждение, АСО (аtomic layer deposition) — химический метод нанесения сверхтонких плёнок из газовой фазы. Рост плёнок осуществляется за счет последовательного нанесения атомных слоев, обеспечивая точный контроль толщины плёнки и её химического состава. На сегодняшний день технология ALD (АСО) является наиболее перспективной, так как позволяет наносить сверхтонкие покрытия практически на любые типы поверхностей.

Р-серия является полностью автоматизированным вакуумным кластером, совместимым с производственными линиями, и гарантирует максимальную рентабельную производительность. Нанесенные пленки отличаются высочайшей однородностью, отсутствием примесных частиц, удовлетворяя самым строгим требованиям качества, выдвигаемых современной полупроводниковой промышленностью.

Новая установка PICOSUN™ P-300F ALD специально разработана для производства интегральных микросхем, таких как микропроцессоры, запоминающие устройства и жёсткие диски, а также для производства силовой электроники и MEMS-устройств, таких как печатающие головки, датчики и микрофоны.

Технические особенности PICOSUN™ P-300F ALD

Типичный размер и тип подложки

  • 200 мм пластины в партиях до 50 шт
  • 150 мм пластины в партиях до 50 шт
  • 100 мм пластины в партиях до 50 шт
  • Образцы с высоким соотношением сторон (до 1:2500)
  • Субстратные материалы: Si, стекло, кварц, SiC, GaN, GaAs, LiNbO3, LiTaO3, InP

Температура и производительность

  • 50 – 300 °C
  • До 1000 пластин / 24 ч @ 15 нм толщине Al2O3

Типичные процессы

  • Серийное производство доступно с периодом цикла до однозначных секунд
  • Al2O3, SiO2, Ta2O5, HfO2, ZnO, TiO2, ZrO2, и металлы
  • До <1% 1σ неравномерность в партии (Al2O3, WIW, WTW, B2B, 49 точек, 5мм EE)

Загрузка субстрата

  • Полностью автоматическая загрузка с помощью инструмента вакуумного кластера в сочетании с функцией вертикального сдвига
  • Кассета для кассетной загрузки через систему вакуумного кластера PicoplatformTM
  • Дополнительная станция SMIF

Прекурсоры

  • Жидкие, твёрдые, газообразные, озоновые
  • Датчики уровня, очистка и пополнение
  • До 12 источников с 6 отдельными входами

 

  • Оформление заказа
  • Доставка
  • Техподдержка
Как оформить заказ на сайте
  • Позвоните по телефону +7 (495) 204-13-17 или отправьте запрос на получение счета на tt@sernia.ru  с темой «Запрос счета».
  • Если Вы ранее не работали с нашей компанией, в письме необходимо указать Ваши реквизиты.
  • Мы работаем как с юридическими, так и с физическими лицами.
  • Оплата осуществляется по безналичному расчету.
  • Для получения дополнительной информации необходимо связаться с менеджером по продажам Царевой Татьяной Андреевной, e-mail: tt@sernia.ru.

Варианты доставки оборудования:

Доставка SERNIA
  • Доставка транспортной компанией СПСР-экспресс до двери получателя. Стоимость доставки включается в счет;
  • Доставка любой другой транспортной компанией (до двери или до терминала ТК в вашем городе). Оплата доставки осуществляется при получении;
  • Самовывоз (Москва, Воробьевы Горы, Физический факультет МГУ,1, стр.2);
  • Доставка курьером по Москве и ближнему Подмосковью. Стоимость доставки включается в счет.

Сомневаетесь в выборе прибора? Проконсультируйтесь с нашим специалистом по измерительному оборудованию!

Т
  • На все вопросы Вам ответит инженер департамента измерительных комплексов Дмитрий Величко.
  • Свяжитесь с ним по тел. +7 (495) 204-13-17 или
  • Отправьте письмо на e-mail: info@sernia.ru с указанием темы «Тех.консультация».
  • В письме укажите Ваш контактный телефон. Инженер свяжется с Вами в течении 1 часа.