пн-пт  10:00 - 19:00
г. Москва
+7 (495) 204 13 17
г. Санкт-Петербург
+7 (812) 509 20 91

Mesoscope cерия SA025 - нанозондирование на основе СЭМ

Производитель
Отрасль
Количество на странице:
20

Cерия SA025 Mesoscope - вольфрамовые нанозонды для использования в СЭМ

Вольфрамовые нанозонды серии SA025 Mesoscope имеют идеальную конструкцию и отличные рабочие характеристики, оптимизированные для исследования полупроводниковых устройств размерами до 20 нм. Совершенная форма и характеристики идеально подходят для исследования небольших устройств. 

Серия вольфрамовых нанозондов SA025 имеет большое количество модификаций для широкого диапазона применений в составе различных зондовых станций - они совместимы со станциями FEI (DCG)/Zeiss/Kleindiek/Imina/JEOL Nano prober system. 

Для правильного выбора подходящей модификации ознакомьтесь с техническими особенностями и спецификацией серии SA025 внизу страницы.

Общие сведения о серии SA025 Mesoscope

Серия

Диаметр проволоки основания (WD) мм

Полная длина зонда (TPL) мм

Длина конуса схождения к острию (TC) мм

Тип угла острия

Радиус закругления иглы (CR) нм

Угол изгиба зонда (Bent angel)

Целевая технология, нм

SA

0.25

13

2.5

А1-А3

5,10,20,35,

50,100,150,

200,250

0, 34

<2, <5, 5-10, 7-10, 10-20


Преимущества нанозондов серии SA025 Mesoscope  

  • Зонд с высоким соотношением сторон имеет радиус наконечника менее 10 нм.
  • 100% гарантия качества. Каждый зонд поставляется с индивидуальной вакуумной упаковкой и системой визуализации для проверки качества СЭМ.
  • После распаковки можно сразу использовать. Перед измерением не требуется чистка наконечника или приработка. Типовое контактное сопротивление составляет менее 80 Ом при условии хранения в вакууме 10 месяцев.
  • Доступны услуги по предварительному изгибу зонда и изоляции. Угол изгиба по умолчанию можно проверить по приведенной ниже таблице.
  • Лучший материал для зонда и 100% контроль качества на Тайване.
  • Теперь доступны зонды диаметром 0,25 мм и 0,1 мм (стандартные).
  • По запросу доступны другой диаметр проволоки и материал.

Технические особенности серии SA025 Mesoscope

В серии SA025 возможно изготовление зондов с различными углами изгиба или без него (зонд прямого типа / одиночная изогнутость тип (B) / двойной изгиб или предварительный изгиб и предварительная изоляция капиллярного типа (BT)). Также возможен выбор типа вершины нанозонда (типовая / форма Plus).

Виды формы вершины

Типовая форма зонда                                          

SA025 Mesoscope_вершина типовая.png








Форма зонда типа Plus (+)

SA025 Mesoscope_вершина Plus.png







Обозначения на схемах зондов:

1. TPL (общая длина зонда): в мм 
2. TC (длина конуса) в мм 
3. A1, A2, A3 (угол конуса): A1 - самый маленький, A3 - самый большой. 
4. CR (радиус кривизны): CR50 означает радиус кривизны вершины наконечника 50 нм, общий диаметр менее 100 нм

Схема зонда прямого типа 

SA025 Mesoscope_straight.png

Схема предварительно изогнутого типа (B) - одиночный изгиб

SA025 Mesoscope_B.png

Схема зонда с двойным изгибом

SA025 Mesoscope_двойной изгиб.png

Схема с предварительным изгибом и предварительной изоляцией капиллярного типа (BT)

SA025 Mesoscope_BT.png

Спецификация серии SA025 Mesoscope

В серии представлены различные модификации нанозондов - они совместимы со станциями FEI (DCG) / Zeiss / Kleindiek / Imina / JEOL Nano prober system. Все модификации изготовлены из вольфрама и не имеют покрытия. Информация о коде детали:

MSCT     

SA  

025  

TPL013  

TC025  

A1  

-

CR10  

+

BT  

-TypeE  

 

 

(1)

(2)

(3)

(4)

(5)


(6)

(7)

(8)

(9)


(1) Тип применения: SA предназначен для электрического нанозонда на основе СЭМ. 
(2) Диаметр стержня зонда (WD): 0,25 мм 
(3) Общая длина зонда (TPL): 13 мм 
(4) Длина конуса наконечника (TC): 2,5 мм. 
(5) Тип угла конуса: A1. Доступный вариант: А1 и А2. A3 доступен только в CR50, CR100 и CR150. 
(6) Радиус кривизны наконечника (CR): 10 нм. Доступные варианты: 5нм, 10нм, 20нм, 35нм, 50нм, 100нм, 150нм, 200нм и 250нм 
(7) Тип формы вершины («плюс»): форма вершины модели «плюс» имеет лучший рабочий аспект и гибкость. Доступные варианты: UCR5, CR5, CR10 и CR20 
(8) Предварительно согнутая и огильзованная трубка (BT): возможно предварительно согнуть наконечник и трубку SS304 перед отправкой. Изгиб CR5 - CR10 по умолчанию 34 градуса, изгиб CR20 по умолчанию 40 градусов, изгиб CR35 - CR250 по умолчанию 45 градусов. 
(9) Классификация чистоты: Продукт типа E не подлежит процедуре очистки. Допускается шероховатость поверхности, загрязнения и дефекты структуры.