Cерия SA025 Mesoscope - вольфрамовые нанозонды для использования в СЭМ
Вольфрамовые нанозонды серии SA025 Mesoscope имеют идеальную конструкцию и отличные рабочие характеристики, оптимизированные для исследования полупроводниковых устройств размерами до 20 нм. Совершенная форма и характеристики идеально подходят для исследования небольших устройств.
Серия вольфрамовых нанозондов SA025 имеет большое количество модификаций для широкого диапазона применений в составе различных зондовых станций - они совместимы со станциями FEI (DCG)/Zeiss/Kleindiek/Imina/JEOL Nano prober system.
Для правильного выбора подходящей модификации ознакомьтесь с техническими особенностями и спецификацией серии SA025 внизу страницы.
Общие сведения о серии SA025 Mesoscope
|
Серия |
Диаметр проволоки основания (WD) мм |
Полная длина зонда (TPL) мм |
Длина конуса схождения к острию (TC) мм |
Тип угла острия |
Радиус закругления иглы (CR) нм |
Угол изгиба зонда (Bent angel) |
Целевая технология, нм |
|
SA |
0.25 |
13 |
2.5 |
А1-А3 |
5,10,20,35, 50,100,150, 200,250 |
0, 34 |
<2, <5, 5-10, 7-10, 10-20 |
Преимущества нанозондов серии SA025 Mesoscope
- Зонд с высоким соотношением сторон имеет радиус наконечника менее 10 нм.
- 100% гарантия качества. Каждый зонд поставляется в индивидуальной вакуумной упаковке .
- После распаковки можно сразу использовать. Перед измерением не требуется чистка наконечника или приработка. Типовое контактное сопротивление составляет менее 80 Ом при условии хранения в вакууме 10 месяцев.
- Доступны услуги по предварительному изгибу зонда и изоляции. Угол изгиба по умолчанию можно проверить по приведенной ниже таблице.
- Лучший материал для зонда и 100% контроль качества на Тайване.
- Теперь доступны зонды диаметром 0,25 мм и 0,1 мм (стандартные).
- По запросу доступны другой диаметр проволоки и материал.
Технические особенности серии SA025 Mesoscope
В серии SA025 возможно изготовление зондов с различными углами изгиба или без него (зонд прямого типа / одиночная изогнутость тип (B) / двойной изгиб или предварительный изгиб и предварительная изоляция капиллярного типа (BT)). Также возможен выбор типа вершины нанозонда (типовая / форма Plus).
Виды формы вершины
Типовая форма зонда
Форма зонда типа Plus (+)
Обозначения на схемах зондов:
1. TPL (общая длина зонда): в мм
2. TC (длина конуса) в мм
3. A1, A2, A3 (угол конуса): A1 - самый маленький, A3 - самый большой.
4. CR (радиус кривизны): CR50 означает радиус кривизны вершины наконечника 50 нм, общий диаметр менее 100 нм
Схема зонда прямого типа
Схема предварительно изогнутого типа (B) - одиночный изгиб
Схема зонда с двойным изгибом
Схема с предварительным изгибом и предварительной изоляцией капиллярного типа (BT)
Спецификация серии SA025 Mesoscope
В серии представлены различные модификации нанозондов - они совместимы со станциями FEI (DCG) / Zeiss / Kleindiek / Imina / JEOL Nano prober system. Все модификации изготовлены из вольфрама и не имеют покрытия. Информация о коде детали:
|
MSCT |
– |
SA |
025 |
TPL013 |
TC025 |
A1 |
- |
CR10 |
+ |
BT |
-TypeE |
|
|
|
(1) |
(2) |
(3) |
(4) |
(5) |
|
(6) |
(7) |
(8) |
(9) |
(1) Тип применения: SA предназначен для электрического нанозонда на основе СЭМ.
(2) Диаметр стержня зонда (WD): 0,25 мм
(3) Общая длина зонда (TPL): 13 мм
(4) Длина конуса наконечника (TC): 2,5 мм.
(5) Тип угла конуса: A1. Доступный вариант: А1 и А2. A3 доступен только в CR50, CR100 и CR150.
(6) Радиус кривизны наконечника (CR): 10 нм. Доступные варианты: 5нм, 10нм, 20нм, 35нм, 50нм, 100нм, 150нм, 200нм и 250нм
(7) Тип формы вершины («плюс»): форма вершины модели «плюс» имеет лучший рабочий аспект и гибкость. Доступные варианты: UCR5, CR5, CR10 и CR20
(8) Предварительно согнутая и огильзованная трубка (BT): возможно предварительно согнуть наконечник и трубку SS304 перед отправкой. Изгиб CR5 - CR10 по умолчанию 34 градуса, изгиб CR20 по умолчанию 40 градусов, изгиб CR35 - CR250 по умолчанию 45 градусов.
(9) Классификация чистоты: Продукт типа E не подлежит процедуре очистки. Допускается шероховатость поверхности, загрязнения и дефекты структуры.