Нанозонды типа CR150 для нанозондирования в СЭМ Hitachi.
Технологический процесс ниже 180 нм.
Радиус кривизны менее 150 нм.
Размер образца - до 20 нм.
- Детальное описание
- Тех.характеристики
- Оплата и доставка
MSCT-MS060TPL012TC02A2-CR150 Mesoscope - вольфрамовые нанозонды для использования в СЭМ HITACHI
Вольфрамовые нанозонды MSCT-MS060TPL012TC02A2-CR150 Mesoscope имеют тип нанозонда CR5150 (типовая вершина зонда, угол острия А2, прямой тип зонда) и относятся к серии MS060CR150 Mesoscope. В серии нанозондов MS060CR150 Mesoscope представлены 2 модификации: MSCT-MS060TPL012TC02А2-CR150 и MSCT-MS060TPL012TC02А3-CR150.
Нанозонды модели MSCT-MS060TPL012TC02А2-CR150 имеют идеальную конструкцию и отличные рабочие характеристики, оптимизированные для исследования полупроводниковых устройств размерами до 20 нм при норме технологического процесса ниже 180 нм. Совершенная форма и характеристики идеально подходят для исследования небольших устройств.
Серия вольфрамовых нанозондов MS060 подходит для системы нанозондирования Hitachi. Отличительная особенность серии - медная трубка с внешним диаметром 0,6 мм, которая устанавливается снаружи зонда. Серия MS060 имеет большое количество модификаций для широкого диапазона применений.
Технические характеристики нанозонда MSCT-MS060TPL012TC02А2-CR150 Mesoscope
|
Серия |
Модель |
Материал |
Покрытие |
Диаметр медной трубки (CTD) |
Общая длина зонда (TPL) |
Длина конуса (TC) |
Тип угла конуса |
Радиус кривизны (CR) |
|
MS060CR150 |
MSCT-MS060TPL012TC02А2-CR150 |
Вольфрам |
- |
0.60 мм |
12 мм |
2 мм |
А2 |
<150 нм |
Преимущества нанозондов серии MS060 Mesoscope
- Зонд с высоким соотношением сторон имеет радиус наконечника менее 5 нм.
- 100% гарантия качества. Каждый зонд поставляется с индивидуальной вакуумной упаковкой и системой визуализации для проверки качества СЭМ.
- После распаковки можно сразу использовать. Перед измерением не требуется чистка наконечника или приработка. Типовое контактное сопротивление составляет менее 80 Ом при условии хранения в вакууме 10 месяцев.
- Доступны услуги по предварительному изгибу зонда и изоляции. Угол изгиба по умолчанию можно проверить по приведенной ниже таблице.
- Лучший материал для зонда и 100% контроль качества на Тайване.
- Теперь доступны зонды диаметром 0,25 мм и 0,1 мм (стандартные).
- По запросу доступны другой диаметр проволоки и материал.
| Материал: | вольфрам без покрытия + медная трубка |
| Технологическая норма: | ниже 180 нм |
| Размер образца: | до 20 нм |
| Специализация: | Hitachi Nano prober system |
| Радиус кривизны зонда: | менее 150 нм |
| Диаметр стержня зонда : | 0,6 мм |
| Длина конуса: | 2 мм |
| Длина зонда (общая): | 12 мм |
