пн-пт  10:00 - 19:00
г. Москва
+7 (495) 204 13 17
г. Санкт-Петербург
+7 (812) 509 20 91
Москва
Санкт-Петербург
По всей России
Москва
Санкт-Петербург
По всей России

Mesoscope серия MS060 - нанозондирование на основе СЭМ Hitachi

Производитель
Количество на странице:
20

CЕРИЯ MS060 MESOSCOPE - ВОЛЬФРАМОВЫЕ НАНОЗОНДЫ ДЛЯ ИСПОЛЬЗОВАНИЯ В СЭМ Hitachi

Вольфрамовые нанозонды серии MS060 Mesoscope предназначены для использования в системах с нанозондами на основе СЭМ. Отличительной особенностью является установленная медная трубка диаметром 0.6 мм снаружи зонда. Идеально подходят для исследования полупроводниковых приборов c технологией ≤5 нм и размером образца до 20 нм. Нанозонды серии MS060 совместимы со станциями Hitachi Nano prober system.

Для правильного выбора подходящей модификации ознакомьтесь с техническими особенностями и спецификацией серии MS060 внизу страницы.

Общие сведения о серии MS060 Mesoscope (СЭМ Hitachi)

Серия

Диаметр медной трубки (CDT), мм

Полная длина зонда (TPL) мм

Длина конуса схождения к острию (TC) мм

Тип

Целевая технология, нм

Радиус закругления иглы (CR) нм

MS

0.6

12

2

Стандартный, плюс, А1-А3

<3,<5, 5-10, 7-10, 10-20,14-20, 20-45, >55

5, 10, 20, 35, 50, 100 и 150

ПРЕИМУЩЕСТВА НАНОЗОНДОВ СЕРИИ MS060 MESOSCOPE

  • Зонд с высоким соотношением сторон имеет радиус наконечника менее 5 нм.
  • 100% гарантия качества. Каждый зонд поставляется в индивидуальной вакуумной упаковке. 
  • После распаковки можно сразу использовать. Перед измерением не требуется чистка наконечника или приработка. Типовое контактное сопротивление составляет менее 80 Ом при условии хранения в вакууме 10 месяцев.
  • Доступны услуги по предварительному изгибу зонда и изоляции. Угол изгиба по умолчанию можно проверить по приведенной ниже таблице.
  • Лучший материал для зонда и 100% контроль качества на Тайване.
  • Теперь доступны зонды диаметром 0,25 мм и 0,1 мм (стандартные).
  • По запросу доступны другой диаметр проволоки и материал.

ТЕХНИЧЕСКИЕ ОСОБЕННОСТИ СЕРИИ MS060 MESOSCOPE

В серии MS060 зонды прямого типа с медной трубкой (диаметр 0.6 мм) снаружи. Возможен выбор типа вершины нанозонда (типовая / форма Plus (+)).

Схема зонда прямого типа 

MS_scheme.png

Обозначения на схеме зонда:

1. TPL (общая длина зонда) в мм
2. TC (длина конуса) в мм
3. Диаметр медной трубки: 0,6 мм 
4. A1, A2, A3 (угол конуса): A1 - самый маленький, A3 - самый большой 
5. CR (радиус кривизны): CR50 означает радиус кривизны вершины наконечника 50 нм, общий диаметр менее 100 нм

Виды формы вершины

Типовая форма зонда 

MS_типовая форма зонда.png

Форма зонда типа Plus (+)

MS_форма зонда Плюс.png

Спецификация серии MS060 Mesoscope

Серия MS060 подходит для системы нанозондирования Hitachi. Датчики изготовлены из вольфрама и не имеют покрытия. Медная трубка с внешним диаметром 0,6 мм устанавливается снаружи зонда. Информация о коде детали (пример):

MSCT   

MS

060

TPL012

TC02

A1

CR20

 

 

(1)

(2)

(3)

(4)

(5)

(6)


(1) Тип применения: MS предназначен для электрического нанозонда на основе СЭМ.
(2) Диаметр медной трубки (CTD): 0,6 мм
(3) Общая длина зонда (TPL): 12 мм
(4) Длина конуса (TC): 2 мм.
(5) Тип угла конуса: A1. Доступны варианты: A1, A2, A3
** Контроль угла конуса по диаметру основания (CBD) определяется на расстоянии на 3 мкм ниже вершины. Меньше CBD означает более мягкое зондирование.
(6) Радиус кривизны наконечника (CR): 20 нм. Доступные варианты: 5нм, 10нм, 20нм, 35нм, 50нм, 100нм и 150нм