CЕРИЯ MS060 MESOSCOPE - ВОЛЬФРАМОВЫЕ НАНОЗОНДЫ ДЛЯ ИСПОЛЬЗОВАНИЯ В СЭМ Hitachi
Вольфрамовые нанозонды серии MS060 Mesoscope предназначены для использования в системах с нанозондами на основе СЭМ. Отличительной особенностью является установленная медная трубка диаметром 0.6 мм снаружи зонда. Идеально подходят для исследования полупроводниковых приборов c технологией ≤5 нм и размером образца до 20 нм. Нанозонды серии MS060 совместимы со станциями Hitachi Nano prober system.
Для правильного выбора подходящей модификации ознакомьтесь с техническими особенностями и спецификацией серии MS060 внизу страницы.
Общие сведения о серии MS060 Mesoscope (СЭМ Hitachi)
|
Серия |
Диаметр медной трубки (CDT), мм |
Полная длина зонда (TPL) мм |
Длина конуса схождения к острию (TC) мм |
Тип |
Целевая технология, нм |
Радиус закругления иглы (CR) нм |
|
MS |
0.6 |
12 |
2 |
Стандартный, плюс, А1-А3 |
<3,<5, 5-10, 7-10, 10-20,14-20, 20-45, >55 |
5, 10, 20, 35, 50, 100 и 150 |
ПРЕИМУЩЕСТВА НАНОЗОНДОВ СЕРИИ MS060 MESOSCOPE
- Зонд с высоким соотношением сторон имеет радиус наконечника менее 5 нм.
- 100% гарантия качества. Каждый зонд поставляется с индивидуальной вакуумной упаковкой и системой визуализации для проверки качества СЭМ.
- После распаковки можно сразу использовать. Перед измерением не требуется чистка наконечника или приработка. Типовое контактное сопротивление составляет менее 80 Ом при условии хранения в вакууме 10 месяцев.
- Доступны услуги по предварительному изгибу зонда и изоляции. Угол изгиба по умолчанию можно проверить по приведенной ниже таблице.
- Лучший материал для зонда и 100% контроль качества на Тайване.
- Теперь доступны зонды диаметром 0,25 мм и 0,1 мм (стандартные).
- По запросу доступны другой диаметр проволоки и материал.
ТЕХНИЧЕСКИЕ ОСОБЕННОСТИ СЕРИИ MS060 MESOSCOPE
В серии MS060 зонды прямого типа с медной трубкой (диаметр 0.6 мм) снаружи. Возможен выбор типа вершины нанозонда (типовая / форма Plus (+)).
Схема зонда прямого типа
Обозначения на схеме зонда:
1. TPL (общая длина зонда) в мм
2. TC (длина конуса) в мм
3. Диаметр медной трубки: 0,6 мм
4. A1, A2, A3 (угол конуса): A1 - самый маленький, A3 - самый большой
5. CR (радиус кривизны): CR50 означает радиус кривизны вершины наконечника 50 нм, общий диаметр менее 100 нм
Виды формы вершины
Типовая форма зонда
Форма зонда типа Plus (+)
Спецификация серии MS060 Mesoscope
Серия MS060 подходит для системы нанозондирования Hitachi. Датчики изготовлены из вольфрама и не имеют покрытия. Медная трубка с внешним диаметром 0,6 мм устанавливается снаружи зонда. Информация о коде детали (пример):
|
MSCT |
– |
MS |
060 |
TPL012 |
TC02 |
A1 |
– |
CR20 |
|
|
|
(1) |
(2) |
(3) |
(4) |
(5) |
|
(6) |
(1) Тип применения: MS предназначен для электрического нанозонда на основе СЭМ.
(2) Диаметр медной трубки (CTD): 0,6 мм
(3) Общая длина зонда (TPL): 12 мм
(4) Длина конуса (TC): 2 мм.
(5) Тип угла конуса: A1. Доступны варианты: A1, A2, A3
** Контроль угла конуса по диаметру основания (CBD) определяется на расстоянии на 3 мкм ниже вершины. Меньше CBD означает более мягкое зондирование.
(6) Радиус кривизны наконечника (CR): 20 нм. Доступные варианты: 5нм, 10нм, 20нм, 35нм, 50нм, 100нм и 150нм