Соединяя
науку и технологии office@sernia.ru
+7 (495) 204-13-17
8 (800) 301-13-17

Зачем нужны активные системы подавления вибраций

предыдущий следующий
14 Октября 2016
Зачем нужны активные системы подавления вибраций Зачем нужны активные системы подавления вибраций Зачем нужны активные системы подавления вибраций Зачем нужны активные системы подавления вибраций Зачем нужны активные системы подавления вибраций Зачем нужны активные системы подавления вибраций
Оптический микроскоп установлен на Everstill K-400

WS.jpgАктивные системы подавления вибраций

Взгляд изнутри на высокопрецизионные технологии

В этом интервью, Wes Wigglesworth (менеджер по продукции) из TMC рассказывает о технологии и применении активных систем подавления вибраций.


ВОПРОС: Можете ли вы дать нашим читателям краткое представление о TMC и отрасли в целом?

ОТВЕТ: TMC разрабатывает и изготавливает продвинутые системы активного и пассивного подавления вибрации, а также звукоизоляционные системы.

Мы лидируем в этой отрасли, благодаря современным активным, инерционным системам подавления вибрации, с пьезоэлектрическими приводами и цифровыми контроллерами.

У нас имеются пассивные системы, начиная от простых изолированных систем, стилизованных под обычные рабочее место, до оптических столов, практически любого размера. Так же появилась наша новая настольная активная система, о которой я бы хотел рассказать.

Продукция TMC позволяет проводить точные исследования и измерения, а также используется в производстве в областях фотоники, полупроводниковой электроники, материаловедения, биологии, нанотехнологии и разработке новых лекарств.

Наши продукты разработаны и изготовлены на современном, вертикально интегрированном производственном предприятии и имеют отличный сервис.

Everstill K-400_y5-.pngВОПРОС: Как работает активная система подавления вибраций?

ОТВЕТ: Термин «активный» часто употребляется неправильно. TMC под активной системой, имеет ввиду «инерционное» активное подавление.

Это означает, что изоляционная система имеет не сенсоры положения, а сенсоры вибрации, постоянно измеряющие механическую вибрацию по отношению к земле, и приводы с системой обратной связи, которые прикладывают противоположную силу для подавления измеренных вибраций.

Система пневматического подавления вибраций с самовыравнивающимся уровнем – не является «активной». Пассивные пневматические системы хорошо ослабляет вибрации на высоких частотах (свыше 10 Гц), это по сути демпфер в модели пружинного маятника, выступающий как фильтр низких частот. TMC лидер в этой области, с нашей технологией Gimbal Piston, разработанной для нашей линейки продуктов Micro-g®.

Только инерционные системы могут активно подавлять вибрации или движения, возникающие на изолированном оборудовании, и вибрации пола или каркаса изоляторов. TMC разрабатывает и производит активные системы, как параллельного, так и последовательного типа.

В параллельном типе активного подавления, схема управления датчик-привод параллельна пружине. Пружина ослабляет вибрации пола, в то время, как система активного управления, соединена с нагрузкой, для подавления вибрации оборудования, возникающей, например, из-за движения столика. TMC использует такое решение в технологии Electro-Damp®.

В последовательном типе, датчик-привод установлен последовательно, после пружины. Эта уникальная архитектура TMC используется в технологии Stacis®, а теперь и в новой Everstill. Только последовательный тип может эффективно подавить низкочастотные вибрации (ниже 10 Гц).

Эти уникальные технологии работают на частоте от 0.6 Гц, до 150 Гц, и подавляют 50% вибраций на 1 Гц и от 90% начиная с 2 Гц. Это достижимо, благодаря двум особенностям.

Во-первых, активная схема управления не соединена с нагрузкой. Это расширяет полосу частот, независимо от резонанса нагрузки, те есть нет необходимости настройки, как в случае с параллельным типом.

Во-вторых, вибродатчик с чувствительностью ниже 1 Гц, в сочетании с приводами высокой мощности, для подавления вибраций на низких частотах, не имеет аналогов в отрасли.

ВОПРОС: В какой области применяется активная система подавления вибрации и почему это необходимо?

ОТВЕТ: Подавление вибрации может понадобиться исследователю, инженеру проектировщику, руководителю производства из-за условий, в которых они работают, или чувствительности оборудования, или всё вместе.

Как правило, оборудования для точного измерения или получения изображения чувствительны к вибрациям, и зачастую имеют пассивные воздушные изоляторы или пружины. Таким образом, большинство оборудования достигает высокой точности на первом этаже лаборатории, или в тихом здании, или в исследовательской лаборатории.

Но когда прибор установлен на заводе, изготавливающем полупроводники, исследовательском медицинском центре (особенно на верхних этажах), или материаловедческом центре, высокая производительность и разрешение не достижимы из-за низкочастотных вибраций окружающей среды или случайных помех.

В основном, активная инерционная система подавления технологии Everstill или Stacis применяется для получения изображения высокого разрешения и чувствительных операций.

Наши клиенты работают со сканирующими зондовыми микроскопами (включая атомно силовые микроскопы), сканирующими и просвечивающими электронными микроскопами, другим лучевым оборудованием, оборудованием для совмещения фотошаблонов, измерения параметров полупроводниковых пластин, а также анализом отказа в области фотоники, полупроводниковой электроники, материаловедения, биологии, нанотехнологии и разработке новых лекарств.

TMC Everstill™ K-400 с оптическим микроскопомВОПРОС: TMC предлагает Everstill™ K-400. Какие преимущества дает эта система?

ОТВЕТ: Everstill это новая технология разработанная TMC. TMC лидер в области погашения вибраций, и Everstill это новое поколение в инерционном подавлении вибрации. Запатентованная технология активно давит вибрации с частотой от 0.7 Гц, при этом выполнен в компактном корпусе, последовательного типа.

K-400 – это первая настольная система, с использованием технологии Everstill. Лучшая в своем классе система подавления вибрации на частотах 1-10 Гц дает существенное преимущество для исследователей и разработчиков, работающих с оборудованием высокой точности.

K-400 очень проста в установке и использовании. Достаточно подключить питание и включить, нажатием одной кнопки. Он распознает смещение нагрузки от центра, подстраивает уровень, и автоматически включает датчики-приводы для активного подавления вибрации, и все за считанные секунды.

ВОПРОС: Можете те ли вы рассказать нашим читателям о том, как работают датчики вибрации сейсмического типа в Everstill™ K-400?

ОТВЕТ: TMC работает с датчиками вибрации в сфере активного виброподавления с 1990 г. Преимущества от использования сейсмических датчиков – чувствительность ниже 1 Гц. Эти датчики необходимы для достижения такого активного подавления, как в Everstill.

Сигнал с датчика усиливается и проходит через сложный алгоритм на привод, для подавления вибрации пола или стола, которые начинаются приблизительно с 0.7 Гц.

ВОПРОС: Как вы думаете, что дает TMC конкурентное преимущество на рынке?

ОТВЕТ: Не забывайте, что Everstill использует последовательный тип подключения, как в нашей технологии Stacis, которая в свою очередь очень востребована для использования с чувствительными электронно- и ионно-лучевыми приборами на полупроводниковых заводах и исследовательских центрах по всему миру. В K-400 используется похожее решение, но для гораздо меньшего по размерам, но требовательного оборудования.

Конкурентные преимущества становятся очевидны по двум причинам: подавление вибрации на низких частотах и стабильность. Последовательный тип активной системы дает лучшее подавлении вибрации, так как резонанс нагрузки отделен от датчиков. Это позволяет усиливать подавления, без потери стабильности.

Everstill позволяет проводить точные процедуры на протяжении долгого времени, за счет жестких пружин, добавляющих стабильность.

ПОСМОТРЕТЬ ДРУГИЕ СИСТЕМЫ ПОДАВЛЕНИЯ ВИБРАЦИЙ TMC>>
Официальный дистрибьютор TMC в России - компания Серния. Специалисты компании проконсультируют Вас относительно применения оборудования, помогут определиться с выбором необходимой модели, доставят и инсталлируют систему.
Вы также можете  заказать в компании Серния услуги по измерению уровня вибраций и электромагнитных помех.
ЗАКАЗАТЬ ИЗМЕРЕНИЕ УРОВНЯ ВИБРАЦИЙ>>

ЗАКАЗАТЬ ИЗМЕРЕНИЕ УРОВНЯ ЭЛЕКТРОМАГНИТНЫХ ПОМЕХ>>