Соединяя
науку и технологии office@sernia.ru
+7 (495) 204-13-17
8 (800) 301-13-17

Системы плазменной очистки

Системы плазменной очистки Системы плазменной очистки

Метод плазменной очистки.

Henniker HPT-100 Plasma Cleaner с адаптером для ПЭМ-держателя.
Плавно меняющаяся мощность от 0 до 100 Вт и цифровая система смешивания газов.
Образцы были помещены в систему через передний порт и очищались с помощью смеси аргона и кислорода в соотношении 95 к 5, использовались низкие мощности: 20 Вт и 50 Вт, воздействие производилось циклами по 30 секунд. Результаты обработки образца представлены в брошюре.

Методы подготовки и оценки результатов.

Пористая углеродная плёнка на медной ПЭМ-сетке.
Образцы исследовались в сканирующем-просвечивающем электронном микроскопе JEM2800 с использованием следующих параметров: ускоряющее напряжение 200 кВ, апертуры C2 70 и 40 мкм. Изображение получались в светлом поле.

Henniker Plasma2web.jpg

Стадии процесса очистки образца

TEM-4web.jpg
TEM-5web.jpg

Вывод

Настоящая работа показывает эффективность плазменной очистки системой Henniker Plasma при различных мощностях и времени обработки. Изображения, полученные с одного и того же участка интереса, показывают уменьшение привнесенного слоя углерода на утоненном углеродном образце.

Доктор Доган Озкая (Технологический центр Johnson Matthew):
“Система плазменной очистки Henniker Plasma является высокоэффективной системой обработки образца для нужд просвечивающей электронной микроскопии, так как позволяет очень точно контролировать, какое именно количество углерода удаляется с образца. Также система отлично справляется с задачей очистки углеводородных загрязнений с поверхности ПЭМ образцов».

Заявка на систему плазменной очистки