Meridian-IV (Emiscope DCG Systems*)- полнофункциональная система для анализа отказов микросхем
Технологии 45 нм стирают различия между отладкой устройства и анализом отказов. Анализ устройства уже не является просто процессом нахождения физического дефекта такого как короткое замыкание или обрыв. Meridian-IV предназначен для решения задач анализа и локализации динамических и параметрических отказов, связанных с целым комплексом процессов или граничными режимами работы устройства, которые проявляются при определенных уровнях напряжения и частоты.
Отладка устройства и анализ отказов
Отладка устройства традиционно ориентирована на внесение изменений, связанных с выявлением проблем в проектировании, в то время как анализ отказов традиционно ориентирован на повышение качества процесса изготовления.
Разделение между отладкой устройства и анализом отказов стало невнятным с появлением того, что обычно называют «плавающий дефектом». Плавающие дефекты являются параметрическими и часто не могут быть сопоставлены с определенными физическими дефектами, которые можно определить, как причину отказа.
Существует множество причин появления плавающих дефектов. Среди них проблемы литографии, неравномерность поверхности, флуктуация (случайные отклонения в следствии чего-либо) легирующей примеси и вопросы к обработке материалов. Анализ устройства должен быть связан с влиянием синхронизации по времени, потребляемой мощностью, рассеиваемой мощностью и шумом.
Проведение анализа устройства уже не вопрос, он заключается в поиске мест фотонного излучения: эмиссия испускается от работающих и не работающих транзисторов, поэтому становится сложно отследить разницу характеристик между исправными и неисправными устройствами.
Meridian-IV (Emiscope DCG Systems*) система оптимизированная для выполнения параметрического анализа
Меридиан-IV учитывает необходимость высокого разрешения, высокой чувствительности, является гибким инструментом для решения задач, представленных для параметрического анализа плавающих дефектов.
Основанный на проверенной платформе Meridian, Meridian-IV включает в себя улучшенную оптику, улучшенное единообразие изображения и повышенную невосприимчивость к вибрации.
Инвертированная конструкция микроскопа Meridian-IV позволяет легко взаимодействовать с любыми тестовыми сигналами: одним из важнейших требований для динамического параметрического анализа основанного на излучении эмиссии является наличие исправного и неисправного устройства.
Meridian-IV может также использоваться для выполнения традиционного статического анализа отказов.
* Ранее Emiscope DCG Systems. С 2016 года DSG Systems входит в состав FEI (Thermo Fisher Scientific).
Если Вас заинтересовало данное оборудование, обращайтесь в нашу компанию. Наши специалисты расскажут подробно о фото-эмиссионных установках для анализа отказов в микроэлектронике и сориентируют Вас по ценам на продукцию. Присылайте свои вопросы на электронную почту: am@sernia.ru.
