Соединяя
науку и технологии office@sernia.ru
+7 (495) 204-13-17
8 (800) 301-13-17

Новая установка Picosun P-300F АСО для производства интегральных микросхем

Новая установка Picosun P-300F АСО для производства интегральных микросхем

Атомно-слоевое осаждение - современная технология для производства интегральных схем

ИС.jpgИндустрия полупроводниковых технологий является главным потребителем систем атомно-слоевого осаждения (АСО) начиная с 2000-х годов. АСО – технология, которую используют в производстве различных интегральных схем (ИС) на кремнии и полупроводниках III – V типов. Системы АСО являются также основной областью деятельности компании Picosun на протяжении уже более 30 лет.

Компания Picosun предлагает решения для силовой электроники, продвинутых логических систем, новых типов памяти и жёстких дисков.


По сравнению с аналогами, установки АСО Picosun отличаются недорогой стоимостью в эксплуатации. Это относится и к сериям с загрузкой одиночных пластин, и для серий с многопакетной загрузкой, которые могут быть объединены в кластерные системы

Диапазон осаждаемых материалов велик: от оксидов, применяемых для изготовления диэлектриков с высоким k, изоляторов, паттернов, пассивации и для производства влагобарьерных слоев; до нитридов, карбидов и чистых металлов для изготовления электродов, диффузионных барьеров, защитных слоев.

PICOSUN™ P-300F - новая установка атомно-слоевого осаждения 

P300F Picosun.jpgСистема PICOSUN™ P-300F ALD специально разработана для производства интегральных микросхем, таких как микропроцессоры, запоминающие устройства и жёсткие диски, а также для производства силовой электроники и MEMS-устройств, таких как печатающие головки, датчики и микрофоны.

Системы PICOSUN™ P-300 ALD стали новым стандартом в промышленном производстве АСО. Используя запатентованную технологию с горячей стенкой и с полностью разделёнными впускными отверстиями, Picosun может создавать высококачественные тонкие АСО  пленки с превосходными электрическими и оптическими характеристиками.

Адаптивный дизайн установок вместе с простым и быстрым обслуживанием обеспечивают минимальный простой машин и низкую стоимость эксплуатации. К тому же, запатентованная технология  диффузионного усилителя Picoflow™ Picosun позволяет получать однородные покрытия на подложках со сверхточным соотношением сторон, используя проверенные производственные процессы.

Система PICOSUN™ P-300F ALD представляет собой передовую индустриальную систему АСО. Система предназначена для полностью автоматизированной пакетной загрузки пластин в сочетании с промышленными стандартными вакуумными кластерными системами для загрузки единичных пластин. Сертифицированные системы P-300F ALD по стандарту SEMI S2/S8 могут быть интегрированы в заводскую автоматизацию через опцию SECS / GEM.

Если Вас заинтересовало данное оборудование, обращайтесь в нашу компанию. Наши специалисты расскажут подробно об установках АСО Picosun и сориентируют Вас по ценам на продукцию. Присылайте свои вопросы на электронную почту: am@sernia.ru.
PICOSUN™ P-300F ALD - это инновационные технологии для изготовления ИС!
Статьи на сайте о применении установок Picosun: