Соединяя
науку и технологии office@sernia.ru
+7 (495) 204-13-17
8 (800) 301-13-17

Система плазмохимического травления и осаждения материалов Minilock Duo Trion

Система плазмохимического травления и осаждения материалов Minilock Duo Trion
Цена: По запросу
Производитель: Trion Technology Flag
НОВИНКА!!!
Minilock Duo Trion – компактная система плазмохимического травления или осаждения.
Имеет 2 реактора, каждый из которых можно использовать под следующие процессы травления или осаждения: PR Strip, RIE, PE, ICP, DRIE, PECVD, HDCVD.


  • Описание
  • Документация

Описание системы плазмохимического травления и осаждения 

Minilock Duo Trion – компактная система плазмохимического травления или осаждения. Состоит из двух независимых модуля, предусмотренных для проведения технологических процессов. Каждый из модулей соединен с вакуумным загрузочным шлюзом, который представлен в виде отдельного блока.

Процессы травления и осаждения в одной системе

Используя Minilock Duo, Вы можете сочетать комбинацию следующих технологических процессов травления и осаждения:

  • PR Strip (photoresist strip) – плазмохимическое удаление фоторезиста
  • PE (plasma etching) - плазменное травление
  • DRIE (deep RIE) - глубокое реактивное травление
  • HDCVD (high density CVD) - осаждение из газовой фазы высокой плотности
Система может использоваться для плазмохимических процессов, где применяются токсичные вещества или самовоспламеняющиеся газы, например для сложных химических процессов, включая травление с использованием агрессивных веществ.

Вакуумный шлюз экономит рабочее время

Вакуумный загрузочный шлюз представляет собой отдельную камеру для загрузки образца. Он обеспечивает безопасность при работе с химикатами. Загрузочный шлюз имеет щелевой клапан для каждого модуля, который позволяет реактору камеры оставаться под вакуумом при перемещении образца из камеры в камеру.

Конструкция шлюза предоставляет новые возможности для оператора технологического процессы: оператор может легко перемещать образец из камеры в камеру без разгерметизации реакторов, что значительно сокращает рабочий процесс.

В системе также имеется роботизированная рука-манипулятор с приводным механизмом перемещения, которая обеспечивает высокую надёжность и точность загрузки.

Травление и осаждение в одной системе 

·         Травление опасными, токсичными и самовоспламеняющимися газами (Cl2,BCl3, SiCl4, HBr);

·         Пленки для нанесения: оксиды, нитриды, оксинитриды, аморфный кремний и карбид кремния.

Цена на систему травления и осаждения

Minilock DUO выгодно отличается по цене от аналогичных систем конкурентов. Для более подробной информации обращайтесь в Департамент аналитического оборудования, вопросы и заявки отправляйте на e-mail: sk@sernia.ru.