Соединяя
науку и технологии office@sernia.ru
+7 (495) 204-13-17
8 (800) 301-13-17

Minilock-Orion III Trion - установка для осаждения тонких пленок для лабораторий и пилотных линий

Minilock-Orion III Trion - установка для осаждения тонких пленок для лабораторий и пилотных линий
Цена: По запросу
Производитель: Trion Technology Flag
Minilock Orion III — установка для плазмохимического осаждения тонких пленок из газовой фазы с вакуумным шлюзом (ПХО, PECVD) лабораторного и промышленного назначения
  • Описание
  • Документация

Описание установки для осаждения пленок Minilock-Orion III PECVD

Minilock-Orion III PECVD — компактная система для осаждения тонких пленок из газовой фазы (ПХО) с вакуумным шлюзом, подходит для лабораторного и промышленного применения. Уникальный дизайн камеры позволяет осаждать пленки с низким внутренним напряжением и с отличным шагом покрытия  при низком уровне мощности.

Система отвечает всем нормам безопасности, предъявляемым к оборудованию для использования в лабораторных условиях и для производственных условий на пилотных линиях.

Процессы

Используется для процессов, где применяются токсичные вещества или самовоспламеняющиеся газы.

Осаждаемые пленки

Пленки для осаждения: оксиды, нитриды, оксинитриды, аморфный кремний и карбид кремния.

Процессные газы

Процессные газы: 100% силан, аммиак, ТЭОС, диэтилсилан, закись азота, кислород, азот, триметилсилан и метан.

Требования к подаче технологических газов:

Пользователь должен обеспечить подачу технологических газов к системе в соответствии с требованиями ТБ РФ. Количество газов: определяется технологическими процессами.  Давление в линии: 1-3 атм. Трубопровод: стальная трубка для чистых газов с электрополировкой. Тип соединения: VCR.

Цена Minilock-Orion III Trion

Установка плазменно-химического осаждения тонких пленок из газовой фазы (ПХО) Minilock-Orion III (PECVD)  выгодно отличается по цене от аналогичных систем конкурентов.

Опции:

  • Температурный контроль — температура нижнего электрода может регулироваться от 50° C до 400° C с помощью резистивного нагревателя с ИК-термопарой.

  • Доп.источник для контроля напряженности пленок — доп.источник для контроля напряженности пленок 600 Вт (13.56МГц).