Соединяя
науку и технологии office@sernia.ru
+7 (495) 204-13-17
8 (800) 301-13-17

Apollo Stripper Trion - установка для плазмохимического удаления фоторезиста лабораторного назначения

Apollo Stripper Trion - установка для плазмохимического удаления фоторезиста лабораторного назначения
Цена: По запросу
Производитель: Trion Technology Flag
Компактная, недорогая универсальная установка для удаления фоторезиста, которая обрабатывает пластины размером 100-300 мм.
  • Описание
  • Документация

Установки плазмохимического удаления фоторезиста Apollo Stripper Trion


Apollo Stripper — компактная, недорогая универсальная установка плазмохимического удаления фоторезиста, которая обрабатывает пластины размером 100-300 мм. Используя технологии ICP или Microwave и ВЧ-генератор в зависимости от необходимости, слои фоторезиста легко удаляются даже при низкой температуре. В соответствие с требованиями заказчика в систему может входить SST микроволновый источник (надежный и свободный от типичных проблем, связанных с микроволновой настройкой).


ОСОБЕННОСТИ УСТАНОВКИ ПЛАЗМОХИМИЧЕСКОГО УДАЛЕНИЯ ФОТОРЕЗИСТА APPOLLO STRIPPER:

  • Скорость травления: до 6 мкм/мин.
  • Минимальное повреждение образца плазмой.
  • Самоподстройка отраженной мощности.
  • Пластины от 100 мм до 300 мм.
  • Малые размеры.

ПРИМЕНЕНИЕ УСТАНОВКИ ПЛАЗМОХИМИЧЕСКОГО УДАЛЕНИЯ ФОТОРЕЗИСТА: 

  • МЕМС,
  • полупроводниковые соединения,
  • опытное производство.

ТРЕБОВАНИЯ К ПОДАЧЕ ГАЗОВ ДЛЯ УСТАНОВКИ APOLLO STRIPPER TRION: 

Пользователь должен обеспечить подачу технологических газов к системе в соответствии с требованиями ТБ РФ. 

  • КОЛИЧЕСТВО ГАЗОВ: определяется технологическими процессами
  • ДАВЛЕНИИ В ЛИНИИ: 1-3 атм.
  • ТРУБОПРОВОД: стальная трубка для чистых газов с электрополировкой
  • ТИП СОЕДИНЕНИЯ: VCR.