Соединяя
науку и технологии
+7 (495) 204-13-17
8 (800) 301-13-17
office@sernia.ru

Система газовой инжекции для микроскопов OmniGis II

OmniGis II
Цена: По запросу
Производитель: Oxford Instruments Flag
Система газовой инжекции OmniGis Oxford Instruments

  • Описание
  • Документация
Наиболее совершенный на сегодняшний день газовый инжектор, позволяющий селективно производить травление материала и осуществлять депозицию проводников и диэлектриков.

Основные преимущества:
  • осуществляет контролируемую доставку нескольких металлоорганических соединений и газов-носителей, при этом занимает всего лишь один порт микроскопа и использует всего один инжектор для всех газов;
  • совместим практически со всеми имеющимися моделями ионно-лучевых и электронно-лучевых микроскопов; 
  • обладает тремя прекурсорами, двумя штуцерами для подачи инертного газа и единой иглой-зондом.
Применение:
  • напыление предохранительного слоя; 
  • приготовление образцов для TEM; 
  • модификация интегральных схем; 
  • электронно-лучевая литография; 
  • напыление слоя толщиной в один атом; 
  • доставка самоорганизующихся монослоев внутрь микроскопа in situ; 
  • электрическая проверка структур.