Соединяя
науку и технологии
+7 (495) 204-13-17
8 (800) 301-13-17
office@sernia.ru

Плазменно-химическое осаждение из газовой фазы (ПХГФО)

Выбрать Производителя
Выбрать Категорию
Количество на странице:
20
Плазменно-химическое осаждение из газовой фазы, ПХО или ПХГФО (Plasma-enhanced chemical vapor deposition (PECVD) - процесс химического осаждения тонких пленок из паровой фазы при низком давлении с использованием высокочастотной плазмы