Соединяя
науку и технологии office@sernia.ru
+7 (495) 204-13-17
8 (800) 301-13-17

Установка атомно-слоевого осаждения R-300 Advanced Picosun

Установка атомно-слоевого осаждения R-300 Advanced Picosun
Цена: По запросу
Производитель: Picosun Flag
R-300 Advanced Picosun — установка атомно-слоевого осаждения для исследований и разработок
  • Описание
  • Документация
Атомно-слоевое осаждение, АСО (аtomic layer deposition) — химический метод нанесения сверхтонких плёнок из газовой фазы. Рост плёнок осуществляется за счет последовательного нанесения атомных слоев, обеспечивая точный контроль толщины плёнки и ее химического состава. На сегодняшний день технология ALD (АСО) является наиболее перспективной, так как позволяет наносить сверхтонкие покрытия  практически на любые типы поверхностей. 

Оборудование R-серии Picosun имеет ручную или полуавтоматическую обработку. Позволяет производить напыление пленок АСО на поверхности со сложной структурой, а также на образцы с высоким аспектным соотношением размеров и на наночастицы. 
R-200 Advanced рекомендована для проведения НИОКР. Предназначена для одиночной обработки подложек или для работы с партиями из 5 подложек. Используются подложки до 200 мм.

Технические особенности R-200 Advanced Picosun:

Количество вводов прекурсоров/  реагенты 
4 ввода прекурсоров/до 6 реагентов
Жидкостные, твердые, газообразные, озон, плазма
Тип и размер подложек 50 – 200 мм одиночные пластины

Макс. 150 мм пластины в вертикально-расположенной кассете по 5 -15 штук (в зависимости от процесса)
Спец. опция: макс. 200 мм пластины в вертикально-расположенной кассете по 5 -15 штук (в зависимости от процесса)
Фотовольтаика 156 мм x 156 мм Si пластины
Трехмерные объекты
Порошки и частицы
Рулонная подача образцов, макс. ширина 70 мм
Образцы с глухими и сквозными порами, образцы с высоким аспектным отношением

Загрузка в реакционную камеру
Пневматический загрузчик (ручная загрузка)
Загрузочный шлюз с магнитным манипулятором
Полуавтоматическая загрузка с помощью роботизированного загрузчика
Покассетная загрузка в кластерных инструментах

 Рабочая температура
50 - 500 °C, более высокие - по согласованию

Вес и размеры

Вес
350 кг+200 кг
Размеры  Зависит от доп.оборудования
минимальный: 146 см х 146 см х 84 см; 
максимальный: 189 см х 240 см х 111 см