Соединяя
науку и технологии office@sernia.ru
+7 (495) 204-13-17
8 (800) 301-13-17

Установка атомно-слоевого осаждения P-300 Pro Picosun

Установка атомно-слоевого осаждения P-300 Pro Picosun
Цена: По запросу
Производитель: Picosun Flag
P-300 Pro Picosun — атомно-слоевое осаждение для исследований и разработок
  • Описание
  • Документация
Атомно-слоевое осаждение, АСО (аtomic layer deposition) — химический метод нанесения сверхтонких плёнок из газовой фазы. Рост плёнок осуществляется за счет последовательного нанесения атомных слоев, обеспечивая точный контроль толщины плёнки и её химического состава. На сегодняшний день технология ALD (АСО) является наиболее перспективной, так как позволяет наносить сверхтонкие покрытия практически на любые типы поверхностей.

Оборудование P-серии отличается полностью автоматизированной обработкой одиночных пластин или пакетов пластин для серийного производства.

Р-серия является полностью автоматизированным вакуумным кластером, совместимым с производственными линиями, и гарантирует максимальную рентабельную производительность. Нанесенные пленки отличаются высочайшей однородностью, отсутствием примесных частиц, удовлетворяя самым строгим требованиям качества, выдвигаемых современной полупроводниковой промышленностью. Для напыления используются подложки размером до 300 мм (вскоре до 450 мм) и большие 3D-объекты.

Оборудование P-200 Pro предназначено для одиночной или пакетной обработки подложек для серийного производства. Подложки диаметром до 200 мм. Возможно объединение в кластер с Picoplatform.

Технические особенности P-300 Pro Picosun:

Количество вводов прекурсоров/  реагенты 
Имеет 6 ввода прекурсоров/ до 12 реагентов 
Жидкостные, твердые, газообразные, озон, плазма
Датчики уровня, обслуживание по очистке и заполнению
Тип и размер подложек Макс. 300 мм одиночные пластины

200 мм пластины в пакетах по 25 штук (стандартное расстояние между пластинами)
150 мм пластины в пакетах по 50 штук (стандартное расстояние между пластинами)
100 мм пластины в пакетах по 75 штук (стандартное расстояние между пластинами)
Образцы с высоким аспектным отношением

Загрузка в реакционную камеру
Загрузочный шлюз с магнитным ручным манипулятором

Полуавтоматическая загрузка с помощью роботизированного манипулятора
Покассетная загрузка в кластерных системах
Пакетная загрузка с механизмом вращения
Вакуумная пакетная загрузка
Загрузка из N2 шкафа

 Рабочая температура
50 - 500 °C

Вес и размеры

Вес
820 кг
Размеры 160 см х 80 см х 240 см