Соединяя
науку и технологии office@sernia.ru
+7 (495) 204-13-17
8 (800) 301-13-17

Установка атомно-слоевого осаждения P-300 Advanced Picosun

Установка атомно-слоевого осаждения P-300 Advanced Picosun
Цена: По запросу
Производитель: Picosun Flag
P-300 Advanced Picosun — атомно-слоевое осаждение для исследований и разработок
  • Описание
  • Документация
Атомно-слоевое осаждение, АСО (аtomic layer deposition) — химический метод нанесения сверхтонких плёнок из газовой фазы. Рост плёнок осуществляется за счет последовательного нанесения атомных слоев, обеспечивая точный контроль толщины плёнки и её химического состава. На сегодняшний день технология ALD (АСО) является наиболее перспективной, так как позволяет наносить сверхтонкие покрытия практически на любые типы поверхностей.

Оборудование P-серии отличается полностью автоматизированной обработкой одиночных пластин или пакетов пластин для серийного производства.

Р-серия является полностью автоматизированным вакуумным кластером, совместимым с производственными линиями, и гарантирует максимальную рентабельную производительность. Нанесенные пленки отличаются высочайшей однородностью, отсутствием примесных частиц, удовлетворяя самым строгим требованиям качества, выдвигаемых современной полупроводниковой промышленностью. Для напыления используются подложки размером до 300 мм (вскоре до 450 мм) и большие 3D-объекты.

Оборудование P-200 Pro предназначено для одиночной или пакетной обработки подложек для серийного производства. Подложки диаметром до 200 мм. Возможно объединение в кластер с Picoplatform.

Технические особенности P-300 Advanced Picosun:

Количество вводов прекурсоров/  реагенты 
Имеет 4 ввода прекурсоров/ до 6 реагентов 
Тип и размер подложек 300 мм пластины в пакетах по 10 шт.; 

200 мм пластины в пакетах по 25 шт.; 
156 мм x 156 мм кремниевые подложки для фотовольтаики в пакетах по 50/100 шт.;
листы стекла размером до 300 мм x 300 мм в пакетах по 10-20 шт.;
трехмерные объекты;
порошки и образцы, содержащие частицы;
рулонная обработка гибких образцов с макс. шириной не более 300 мм;
образцы с глухими и сквозными порами; 
образцы с высоким аспектным соотношением

Загрузка в реакционную камеру
Пневматический загрузчик (ручная загрузка);
линейный загрузчик; 
загрузка с помощью промышленного робота.

 Рабочая температура 

50 - 500 °C

Вес и размеры

Вес
400+300 кг
Размеры 149 см х 191 см х 111 см