Соединяя
науку и технологии office@sernia.ru
+7 (495) 204-13-17
8 (800) 301-13-17

Установка атомно-слоевого осаждения P-200 Pro Picosun

Установка атомно-слоевого осаждения P-200 Pro Picosun
Цена: По запросу
Производитель: Picosun Flag
P-200 Pro Picosun — атомно-слоевое осаждение для исследований и разработок
  • Описание
  • Документация
Атомно-слоевое осаждение, АСО (аtomic layer deposition) — химический метод нанесения сверхтонких плёнок из газовой фазы. Рост плёнок осуществляется за счет последовательного нанесения атомных слоев, обеспечивая точный контроль толщины плёнки и ее химического состава. На сегодняшний день технология ALD (АСО) является наиболее перспективной, так как позволяет наносить сверхтонкие покрытия  практически на любые типы поверхностей.

Оборудование P-серии отличается полностью автоматизированной обработкой одиночных пластин или пакетов пластин для серийного производства.

Р-серия является полностью автоматизированным вакуумным кластером, совместимым с производственными линиями, и гарантирует максимальную рентабельную производительность. Нанесенные пленки отличаются высочайшей однородностью, отсутствием примесных частиц, удовлетворяя самым строгим требованиям качества, выдвигаемых современной полупроводниковой промышленностью. Для напыления используются подложки размером до 300 мм (вскоре до 450 мм) и большие 3D-объекты.

Оборудование P-200 Pro предназначено для одиночной или пакетной обработки подложек для серийного производства. Подложки диаметром до 200 мм. Возможно объединение в кластер с Picoplatform.

Технические особенности P-200 Pro Picosun:

Количество вводов прекурсоров/  реагенты
Имеет 4 ввода прекурсоров/ до 6 реагентов 
Тип и размер подложек одиночные пластины 50 – 200 мм; 

макс. 150 мм пластины, расположенные вертикально в пакете по 10-25 шт.; 
спец.конструкция: макс. 200 мм пластины, расположенные вертикально в пакете по 5-15 шт.; 
156 мм x 156 мм кремниевые подложки для фотовольтики;  

Загрузка в реакционную камеру
Пневматический загрузчик (ручная загрузка);
загрузочный шлюз с магнитным ручным манипулятором; 
полуавтоматическая загрузка с помощью роботизированного манипулятора; 
покассетная загрузка в кластерном оборудовании

 Рабочая температура
50 - 500 °C, более высокие - по согласованию

Вес и размеры

Вес
790 кг
Размеры 160 см х 80 см х 240 см