Соединяя
науку и технологии office@sernia.ru
+7 (495) 204-13-17
8 (800) 301-13-17

Установка атомно-слоевого осаждения P-1000 Pro Picosun

Установка атомно-слоевого осаждения P-1000 Pro Picosun
Цена: По запросу
Производитель: Picosun Flag
Оборудование P-серии отличается полностью автоматизированной обработкой одиночных пластин или пакетов пластин для серийного производства.
  • Описание
  • Документация
Атомно-слоевое осаждение, АСО (аtomic layer deposition) — химический метод нанесения сверхтонких плёнок из газовой фазы. Рост плёнок осуществляется за счет последовательного нанесения атомных слоев, обеспечивая точный контроль толщины плёнки и ее химического состава. На сегодняшний день технология ALD (АСО) является наиболее перспективной, так как позволяет наносить сверхтонкие покрытия практически на любые типы поверхностей.

Оборудование P-серии отличается полностью автоматизированной обработкой одиночных пластин или пакетов пластин для серийного производства.

Р-серия является полностью автоматизированным вакуумным кластером, совместимым с производственными линиями, и гарантирует максимальную рентабельную производительность. Нанесенные пленки отличаются высочайшей однородностью, отсутствием примесных частиц, удовлетворяя самым строгим требованиям качества, выдвигаемых современной полупроводниковой промышленностью. Для напыления используются подложки размером до 300 мм (вскоре до 450 мм) и большие 3D-объекты.

Оборудование P-200 Pro предназначено для одиночной или пакетной обработки подложек для серийного производства. Подложки диаметром до 200 мм. Возможно объединение в кластер с Picoplatform.

Технические особенности P-1000 Pro Picosun:

Количество вводов прекурсоров/  реагенты 
Имеет 8 вводов прекурсоров/ до 12 реагентов
Жидкостные, твердые, газообразные, озон
Датчики уровня, обслуживание по очистке и заполнению
Тип и размер подложек 450 мм пластины в пакетах по 40 шт.; 

300 мм пластины в пакетах по 80 шт.;
200 мм пластины в пакетах по 12 х 25  шт.;
156 мм x 156 мм кремниевые пластины для фотовольтаики в пакетах по 800/1000 шт.;
листы стекла размером до 400 мм x 600 мм в пакетах по 30-50 шт.;
трехмерные объекты;
порошки и образцы, содержащие частицы;
образцы с глухими и сквозными порами; 
образцы с высоким аспектным соотношением.

Загрузка в реакционную камеру
Пневматический загрузчик (ручная загрузка посредством вилочного погрузчика); 
загрузка с помощью промышленного робота 

 Рабочая температура 

50 - 500 °C

Вес и размеры

Вес
2000 кг
Размеры 230 см х 270 см х 125 см