Соединяя
науку и технологии office@sernia.ru
+7 (495) 204-13-17
8 (800) 301-13-17

STACIS® iX Stage-Base™ 450 - активная система подавления вибрации и движения

STACIS® iX Stage-Base™ 450 - активная система подавления вибрации и движения
Цена: По запросу
Производитель: TMC Flag
Активная система подавления вибраций Stage-Base 450 специально разработана для использования вместе с высокопрецизионными установками для производства полупроводниковых устройств, включающих в себя высокоточные моторизованные X-Y столы. Виброизоляция начинается с 0,6 Гц.
  • Описание
  • Документация

Описание Stage-Base™ 450

Система активного подавления вибраций нового поколения Stage-Base™ 450 включает технологию STACIS® компании TMC для достижения максимального подавления вибраций с использованием пьезоэлектрических механизмов в сочетании с жёсткой подвеской. Система «гасит» колебания, начиная с частот от 0,6 Гц. Данная технология не имеет аналогов в отрасли.

Особенности и преимущества Stage-Base™ 450

  • Включает в себя уникальную технологию STACIS®
  • Использует пьезоэлектрические приводы с большим усилием и увеличенным ходом
  • Повторяемость в нагруженном состоянии в пределах нескольких микрон
  • Возможность рамочной конструкции
  • 6 активных степеней свободы
  • Опциональная прямая и/или обратная связь с VCM
  • Активная виброизоляция, начиная с 0.6 Гц
  • Быстрое время восстановления в ответ на движение подложки
  • Отсутствие мягкой пневматической подвески
  • Высокоскоростной цифровой контроллер с графическим пользовательским интерфейсом на базе ПК через USB 2.0
  • Простой, надёжный и экономичный.
подавление вибраций.png