Соединяя
науку и технологии office@sernia.ru
+7 (495) 204-13-17
8 (800) 301-13-17

Vion Plasma FIB FEI

Vion Plasma FIB FEI
Цена: По запросу
Производитель: FEI Flag
Vion Plasma FIB — система с фокусированным ионным пучком (ФИП/FIB) FEI
  • Описание
  • Документация
Мощный FIB c большой плотностью тока и большой скоростью травления. Новейшая модель ионного микроскопа с плазменным источником ионов позволяет в 20 раз быстрее производить модификацию микросхем.

Основные преимущества:
  • Повышение производительности за счет увеличения скорости травления материала более чем в 20 раз по сравнению с традиционными системами FIB на основе галлия
  • Быстрое, точное кросс-секционирование позволяет обнаруживать дефекты и особенности внутренних слоев 
  • Широкий спектр токов пучка для травления и получения изображений (от нескольких пА до более чем 1 мкА) 
  • Использование возможностей химического осаждения для защиты характерных особенностей поверхности образца от повреждений
  • Дополнительные возможности нейтрализатора заряда для проведения секционирования заряжающихся материалов 
  • Дополнительный доступ к обратной стороне микросхемы при помощи запатентованной системы коаксиальной подачи газа
Применение:
  • Анализ контактных площадок, межкристальных соединений 
  • Удаление материала для проведения анализа отказов и неправильно изолированных структур 
  • Контроль и разработка процесса соединения многоуровневых структур 
  • Анализ дефектов совмещенных пластин и приборов MEMS