Соединяя
науку и технологии office@sernia.ru
+7 (495) 204-13-17
8 (800) 301-13-17

Verios XHR SEM FEI (Thermo Fisher Scientific) - сканирующий электронный микроскоп экстра высокого разрешения

Verios XHR SEM FEI (Thermo Fisher Scientific) - сканирующий электронный микроскоп экстра высокого разрешения
Цена: По запросу
Производитель: FEI Flag
Verios XHR SEM FEI - новое поколение сканирующих электронных микроскопов с экстремально высоким разрешением. Обеспечивает субнанометровое разрешение при ускоряющем напряжении от 1 кВ до 30 кВ с исключительным контрастом изображения.
  • Описание
  • Документация
Новая система с экстремально высоким разрешением. Verios SEM является новым поколением сканирующих микроскопов, обеспечивающих субнанометровое разрешение при ускоряющем напряжении от 1 кВ до 30 кВ с исключительным контрастом изображения. Чрезвычайная функциональность при низковольтном напряжении обеспечивает исключительную точность информации о свойствах поверхности, которая была ранее недоступна при использовании других технологий.

Расширение возможностей сканирующей электронной микроскопии.

На рынке полупроводников и хранения данных уникальные характеристики Verios значительно расширяют возможности растровой электронной микроскопии до 22 нм и ниже, предлагая полное решение для фундаментальных исследований, разработки процессов и материалов, контроля процессов и анализа отказов.

Система дает точные и воспроизводимые результаты измерений даже для сверхчувствительных материалов. В комбинации с метрологическим программным обеспечением FEI, Verios обеспечивает точность измерений, необходимую для контроля процессов развития технологий. Verios предлагает лучшую производительность без ущерба высокой пропускной способности, гибкости образцов и простоты традиционной сканирующей электронной микроскопии.


Разрешение 30 кВ (STEM) 

15 кВ (TLD) 
1 k В (TLD) 
500 В (ICD) 
200 В (ICD)
0.6 нм 
0.7 нм 
0.7 нм 
1.0 нм 
1.2 нм
Ток луча До 100 нA
Диапазон напряжений на поверхности образца 20 V to 30 kV
Стол X x Y x Z (мм) 100 x 100 x 20 
5-осевой моторизованный пьезостол
Камера Большая камера,
21 порт