Соединяя
науку и технологии office@sernia.ru
+7 (495) 204-13-17
8 (800) 301-13-17

CABL-UH Crestec (130 кВ) - установка электронной литографии

CABL-UH Crestec (130 кВ) - установка электронной литографии
Цена: По запросу
Производитель: CRESTEC Flag
Самое высокое ускоряющее напряжение на рынке - 130 кВ!
  • Описание
  • Характеристики
  • Документация

CABL-UH (130 кВ) Crestec - установка электронной литографии

CABL-UH - это установка электронно-лучевой литографии со сверхвысоким разрешением. Модель CABL-UH имеет большую точность – менее 10 нм. Исходя из бюджета можно выбрать из моделей 90 kV, 110 kV, 130 kV. Продуктовая линейка CABL-UH даёт возможность для развития Ваших возможностей в сфере нанотехнологий.

Основные технические характеристики установки электронной литографии

  • Диаметр электронного пучка: <1.6 нм
  • Минимальная ширина линии: 7 нм (при 130 кВ)
  • Ускоряющее напряжение: 90 кВ, 110 кВ или 130 кВ
  • Размер стола: для 8” пластины (можно использовать любой держатель для пластин размером меньше 8”)

Особенности установки электронной литографии:

  • Диаметр пучка < 1.6 нм
  • Прототипирование объектов до 7 нм
  • Мощная электронная пушка
  • Минимизация искажений и коррекция краевых эффектов, эффекта близости
  • Высокая стабильность при высоком токе пучка
  • Модификации с ускоряющим напряжением 110 кВ и 90 кВ

Спецификация на установку электронной литографии CABL-UH Crestec

Источник электронов/ускоряющее напряжение

TFE(ZrO/W)/25~130kV

Мин. диаметр электронного пучка/ мин. ширина линии

1.6 нм/ 7.0 нм

Метод сканирования

Векторное сканирование(x,y),Векторное сканирование(r,θ)- в базовой комплектации

Растровое сканирование, Точечное сканирование - опционально

Расширенные литографические функции (опционально)

Модуляционная литография по размеру поля, литография с осевой симметрией

Размер поля

30 мкм2,60 мкм2,120 мкм2,300 мкм2,600 мкм2- в базовой комплектации
1200 мкм2,2400 мкм2 - опционально

Количество пикселей

20,000×20,000 точек,60,000×60,000 точек,96,000×96,000 точек,
240,000×240,000 точек (Векторное сканирование) - в базовой комплектации
10,000×10,000 точек (Растровое сканирование) - опционально

Минимальный адресный размер

10 нм@600 мкм2,2 нм@120 мкм2 - в базовой комплектации
0.0012 нм@600 мкм2 - опционально

Размер подложки

4”, 6”, 8” диаметром (для образцов других размеров и форм могут использоваться специальные приспособления)

Точность сшивки

50 нм(3σ)- 600 мкм2,20 нм(2σ) - 60 мкм2

Точность перекрытия

50 нм(3σ) - 600 мкм2

CAD ПО

Выделенный CAD в базовой комплектации,GDSконвертер - опционально,
DXF конвертер - опционально

Операционная система

Windows

Диаметр пучка : < 1.6 нм
Минимальная ширина линии: 7 нм
Ускоряющее напряжение: 90 кВ, 110 кВ или 130 кВ