Соединяя
науку и технологии
+7 (495) 204-13-17
8 (800) 301-13-17
office@sernia.ru

Атомно-слоевое осаждение (АСО)

Выбрать Производителя
Выбрать Категорию
Количество на странице:
20

Атомно-слоевое осаждение, АСО (Atomic layer deposition, ALD) - химический метод нанесения сверхтонких плёнок из газовой фазы. Основан на поверхностно-контролируемых и самонасыщаемых реакциях адсорбции между поверхностью и газовыми прекурсорами. АСО является мощным инструментом для производства в области наноразмерных систем, где требуется наносить беспористые, равномерные покрытия с прецизионной точностью по толщине на подложки сложной формы или на структуры с высоким аспектным соотношением.