Соединяя
науку и технологии office@sernia.ru
+7 (495) 204-13-17
8 (800) 301-13-17

Атомно-слоевое осаждение (АСО)

Выбрать Производителя
Выбрать Полосу пропускания
Выбрать Длину записи
Выбрать Серия
Выбрать Типы анализаторов спектра
Выбрать Аналитические возможности
Выбрать Тип микроскопа
Выбрать Аналоговые каналы
Выбрать Цифровые каналы
Выбрать Частоту дискретизации
Выбрать Встроенный анализатор спектра
Выбрать Категорию
Количество на странице:
20

Атомно-слоевое осаждение, АСО (Atomic layer deposition, ALD) - химический метод нанесения сверхтонких плёнок из газовой фазы. Основан на поверхностно-контролируемых и самонасыщаемых реакциях адсорбции между поверхностью и газовыми прекурсорами. АСО является мощным инструментом для производства в области наноразмерных систем, где требуется наносить беспористые, равномерные покрытия с прецизионной точностью по толщине на подложки сложной формы или на структуры с высоким аспектным соотношением.